集成电路制造废气处理及其废气处理案例!|环保知识|废气处理-格林斯达环保

格林斯达

智能化全生命周期Beplay官网版处理解决方案提供商Intelligent full life cycle exhaust treatment solutions provider

格林斯达咨询热线400-9655-098-立即咨询-

  • Beplay官网版处理设备
  • 酸/碱Beplay官网版处理设备类:
  • 洗涤塔
  • 立式洗涤塔
  • 卧式洗涤塔
  • PP洗涤塔
  • 玻璃钢洗涤塔
  • 不锈钢洗涤塔
  • 有机Beplay官网版处理设备类:
  • 活性炭吸附装置
  • 沸石转轮吸附浓缩装置
  • 蓄热式热力燃烧装置(RTO)
  • 蓄热式催化燃烧装置(RCO)
  • 污水除臭
  • 臭气治理
  • 污水处理
  • 格林斯达动态
  • 格林斯达动态
  • 行 业 动 态
  • 环 保 知 识
  • 专 家 答 疑
  • 关于格林斯达
  • 格林斯达简介
  • 荣 誉 资 质
  • 专 家 团 队
  • 联系格林斯达
  • 在 线 留 言
  • 当前位置:首页 » 资讯中心» 环保知识 » 集成电路制造Beplay官网版处理及其Beplay官网版处理案例!

    集成电路制造Beplay官网版处理及其Beplay官网版处理案例!

    字号:||
    文章出处:责任编辑:作者:李红祥 手机:18410011020人气:-发表时间:2020-05-08 14:17:00

      集成电路Beplay官网版处理,又称半导体Beplay官网版处理。下面,北京格林斯达Beplay官网版处理环保公司,结合其Beplay官网版处理案例,重点介绍集成电路制造产排污特点,及其Beplay官网版处理设备,即酸碱Beplay官网版处理设备和有机Beplay官网版处理设备。
      集成电路制造即半导体器件生产工艺,主要包括分立器件、集成电路及其封装工艺。
      一、集成电路制造产排污特点:
      集成电路制造可大致分为各独立的“单元”,如晶片制造、氧化、掺杂、显影、刻蚀、薄膜等。各单元中又可再分为不同的“操作步骤”,如清洗、光阻涂布、曝光、显影、离子植入、光阻去除、溅镀、化学气相沉积等。相关操作根据实际要求需要重复多次,视需要重复操作。
      (一)集成电路制造工艺流程
      硅 片 → 硅片清洗 → 氧 化 → 离子注入 → 光 刻 → 刻蚀、去胶 → 扩散 → CVD → 抛 光 → 溅 射 → 检 验
      集成电路制造工艺产排污节点
      1、工艺节点:硅片清洗
      原辅材料:HF、NH3·H2O、HCL、有机溶剂、纯水等;
      Beplay官网版排放:酸碱Beplay官网版、有机Beplay官网版
      2、工艺节点:氧化
      原辅材料:O2、N2、H2、C2H2CL2等;
      Beplay官网版排放:HCL(二氧乙烷转化);
      3、工艺节点:离子注入
      原辅材料:BF3、PH3、AsH3等;
      Beplay官网版排放:掺杂气体尾气
      4、工艺节点:光刻
      原辅材料:光刻胶、EBR、HMDS、显影液等;
      Beplay官网版排放:有机Beplay官网版
      5、工艺节点:刻蚀、去胶
      原辅材料:湿法:BHF、HF、H3PO4、H2SO4等;干法:CF4、CHF3、CL2、丙酮、HCL、HNO3等;
      Beplay官网版排放:酸碱Beplay官网版、有机Beplay官网版
      6、工艺节点:扩散
      原辅材料:掺杂气体
      Beplay官网版排放:掺杂气体尾气
      7、工艺节点:CVD
      原辅材料:SiH4、WF6、TMB、TEOS、C2F6等;
      Beplay官网版排放:掺杂气体尾气
      8、工艺节点:抛光
      原辅材料:研磨液
      9、工艺节点:溅射
      原辅材料:Al、Ti、W等。
      (二)封装工艺生产流程:
      粘 膜 → 背面减薄 → 切片/清洗 → 粘 片 → 焊 线 → 键 合 → 塑封、固化 →打印、切筋 → 去毛边 → 引线电镀 → 成 型 → 测试、包装入库
      集成电路的封装指从晶片上切割单个芯片,到最后包装的一系列步骤。晶片在制造工艺后进入封装工艺,所使用的原材料为晶圆、基板。有机类原辅材料为树脂颗粒;酸类原辅材料有硫酸、硝酸。
      封装工艺产排污节点:
      1、工艺节点:塑封、固化
      原辅材料:环氧树脂
      Beplay官网版排放:塑料Beplay官网版、废环氧树脂
      2、工艺节点:引线电镀
      原辅材料:锡/铅合金、甲磺酸、添加剂、HCL、HNO3
      Beplay官网版排放:酸碱Beplay官网版(NO2、HCL)
      二、集成电路制造Beplay官网版处理案例及其Beplay官网版处理系统
      1、集成电路制造Beplay官网版处理案例:中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、上海积塔半导体有限公司等Beplay官网版处理案例。
      2、集成电路Beplay官网版处理系统
      (1)酸碱Beplay官网版处理设备:Beplay官网版处理洗涤塔

     

    北京中芯北方集成电路酸碱Beplay官网版处理设备—Beplay官网版处理洗涤塔

    北京中芯北方集成电路制造酸碱Beplay官网版处理设备—Beplay官网版洗涤塔


      (2)有机Beplay官网版处理设备:沸石浓缩转轮直接燃烧设备TO

     

    上海积塔半导体有机Beplay官网版处理设备—直接燃烧设备TO

    上海积塔半导体有机Beplay官网版处理设备—直接燃烧TO设备


      咨询Beplay官网版处理相关问题,考察Beplay官网版处理现场,设计Beplay官网版处理方案,安装Beplay官网版处理设备,致电北京格林斯达Beplay官网版处理环保公司,拨打电话:4009655098

      


     

    友情提示:欢迎您来到格林斯达环保专业网站,我们的网址是http://www.glsd99.com/

     

     

     

     

     

     

     

     

    易企秀

    相关资讯

    排行榜

    1PP储槽
    2活性炭吸附塔
    3湿式洗涤塔
    4GLSD型快速一体化污水处理设备
    5酸雾喷淋塔
    6Beplay官网版洗涤塔

    同类文章排行

    最新资讯文章

    您的浏览历史

    正在加载...